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高科技产品制造业离子风机使用条件
文章来源:斯泰科微 2018-01-25 09:03
一种改变离子风机的负载技术将会影响绝缘材料上静电控制在高科技产品生产,控制静电是提高生产效率,改善品质,增加利润的基础。在半导体、硬 盘和平面显示(FPDs)的生产中,静电控制是基本的生产条件之一。如果不能控制静电就意味着 产品要因静电引力造成大离子污染(ESA 问题)和静电放电(ESD 问题)而受到损伤。
美国静电协会(ESD Association)和国际半导体设备和材料协会(Semiconductor Equipment and Materials International)等组织都有消除静电问题的静电控制体系。这其中主要的方法是 使用静电导电材料和静电耗散材料(包括人体)直接接入大地以消散静电。 然而, 产品本身和工作环境都不可避免地会使用绝缘材料。
当绝缘就是材料产品本身的组成部 分时,你就无法清替换。例如,高科技产品制造中会使用含有氧化层的硅片,环氧树脂封装的单 导体器件,器件引脚上的绝缘材料,环氧树脂印刷线路板,FPDs 行业中的玻璃片。此外,特氟隆、 石英以及许多塑料材料具有耐高温、耐腐蚀以及洁净室兼容的特性,但它们都是绝缘材料。接地 不能消除绝缘材料上的静电荷,因此绝大多数情况剩下唯一的办法就是使用空气离子化进行中和处理。这就需要用到专门的除静电设备。
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